液中ナノパーティクルサイザーシステム モデル 9310

コロイド懸濁液、特に 100nm より小さな粒子の懸濁液内の粒径と濃度を測定するのは困難です。カノマックス FMT では他のあらゆる測定方法を凌ぐソリューション ― 液中ナノパーティクルサイザーシステム (LNS) を提供します。LNS は小型の一体化された装置システムで優れた粒径測定能力を提供します。LNS は半導体の化学機械研磨 (CMP) スラリーにおける粒度分布の測定には最適な選択です。

“LNS は、最小で 5nm の粒子を測定するために、ナノパーティクルネブライザー (NPN)、環状流イオンモビリティ分級器 (AFIMC)、および高速凝縮パーティクルカウンター (高速 CPC) を統合した、完全一体型の 3 ステージシステムです。
3 ステージシステムとは:
”

1. オンライン直接フィード方式で、または蠕動ポンプあるいはオートサンプラーを使用して NPN にコロイド溶液のサンプルを注入します。注入前にサンプルの濃度を下げて、凝固時間を短縮し、汚染を最小限に留めることができます。サンプルは噴霧され、多くの粒子が含まれている可能性のある大きな液滴が除去されます。噴霧されたサンプルは温められて水分が蒸発し、キャリアガス内に浮遊する粒子のエアロゾルが残ります。
2. エアロゾル粒子は安全で信頼性の高い軟 X 線荷電器を使用して電気的に荷電されます。AFIMC は電界の大きさにより粒子を並べ替え、粒子を 5-600nm のサイズごとに分級する能力を持っています。様々な電界強度を使用して AFIMC は粒径幅の狭い粒子を体系的に選び、それらを高速 CPC に渡します。
3. 高速 CPC は直ちに選択された粒径幅の粒子の濃度を計測し、1000 倍以上のダイナミックな濃度範囲で個々の粒子を検出します。他の競合する粒子測定技術とは異なり、LNS では相対濃度ではなく、実際の粒子濃度が分かります。

LNS の特長

LNS には他のテクノロジーと比べて以下のような特長があります:

• エアロゾルの粒径分布の計測およびサイジングのための実績ある技術 (日本の NIST および AIST で使用) とユニークな噴霧技術を組み合わせ、濃縮懸濁液中の粒子の粒径および個数濃度を計測します。
• CMP スラリーの粒径測定結果において高い確度、高い精度、および高い解像度をもたらします (特に半導体産業で用いられます)。
• 複雑な変換ルーチンや推測、また粒径校正を必要としない単純なデータ交換。ソフトウェアは各粒径モードを識別し、10%、50% および 90% の累積粒径分布を割り当てます。これらの粒径統計により、特定のモードにおける粒径の変化を容易に監視できます。
• 粒子の粒径分布の形態を推測するのではなく、また相対パーティクル濃度ではない実際の個数濃度を計測します。(相対粒子濃度を計測する装置の場合、異なるサンプルを比較する際に重大な誤解を招くことがありますが、それは各サンプル内の相対濃度の計測のみが提供されているためです。)
• 2 件の SEMI ガイドに引用されました。SEMI C92 では、イオン交換樹脂の品質を判断するために LNS が使われています。SEMI C79 では、超純水で用いられる 15 nm 以下のフィルターの効率性を評価するために LNS が使われています。SEMI C79 に記述されている要件の測定が可能なパーティクル装置は他にありません。